image1 image2

Product Search

Category

Measuring Division
Equipment Division
Injection Division
CS CENTER

If you have any questions, please contact us.

TEL: +82-54-473-2900

DEPARTMENT
Measuring Division
Equipment Division
Injection Division
 
Equipment Division
OLED thin film composite inspection machine
IN-LINE
Brand  : NDK
Product Details
Related product

1) 사양

 적용 공정 : 증착공정 , 인켑공정

 글라스 사이즈 : G8 ( 2200 * 2500 )

 측정항목 : 엘립소미터 장착 ( HORIBA ) 유기박막두께 측정

                2D 검사현미경 장착 : Shadow 폭 측정

                4PP  장착 : 금속 박막의 면저항 측정

 Chamber : purifire N2 퍼징

 특징 : 생산 공정에 설치되어 자동 측정이 가능하고 측정데이터 전송 및 관리

 

2) F.O.V 확인 결과

 시료 : Non Pattern Sample

 확인 내용 : 대상 시료의 Dep. Edge Vision Image로 확인

FOV 확인결과.JPG

 기존 카메라(1/3") & 렌즈(2.5x) 기준으로 Dep. Edge Monitoring Range를 확보하기가 어렵다고 판단됨.

 

3) 사전 샘플 확인 결과

사전 샘플 확인결과.JPG
 
4) Line Scan Camera & Light Source 평가 결과

평가결과-1.JPG

평가결과-2.JPG

평가결과-3.JPG

Product Details
Related product
There are no products associated with this product.
Product Q&A
No. Subject Name Date Remarks
No Product Inquiry created.
  Contact Us